性能

• 轮廓度量测<0.03mm

• 直线度<0.025mm

• 垂直度量测<0.02mm

• 位置量测<0.015mm

• 厚度量测<0.02mm

• 3D胶高量测<0.03mm

• 面轮廓量测<0.08mm

• GRR<10%，Correlation＜20%

• 具备3x点激光+1x线激光+2xCCD系统

• 机床级安装打表工艺

• 在线收集数据和报表制作